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ASTONは、半導体プロセスの計測において大きな進歩を遂げます。半導体業界向けの堅牢な分子センサーとしてゼロから設計されたAstonは、腐食性ガス、堆積粒子、ガス状汚染物質の凝縮に対する耐性があります。プラズマ使用中でも効果を発揮します。
AstonのリアルタイムIn-situデータは、処理後に得られたインラインデータとは異なり、情報量の多い実用的な分子データです。 In-Situデータにより、より厳密なプロセス制御が可能になり、（SPC）マージンとライン産出高が向上します。
企業内のどこからでも接続して、Astonを安全に制御し、クラウドベースのAtonLabソフトウェアや、独自またはサードパーティのアプリケーション用の高速APIを介して、分子データにアクセスすることができます。
FAB管理を最適化するには、インライン計測から現場計測へ、ソリューションを変更しなければいけません。プロセス装置に厳密な制御ループを提供するために、直ちにデータを実行する必要があります。Astonが提供するのは、「ビッグデータ」ではなく「有用なデータ」です
1つのツールで、以下の幅広い半導体計測ニーズをサポートします。
分子情報を感知して把握する技術に基づいて、アトナープの技術者チームは、ライフサイエンス、半導体製造、製造業のプロセスコントロール分野のソリューションに革命をもたらします。
ゴールデンチャンバーに対する1σ未満以内のチャンバークリーニングのエンドポイント検出、フィンガープリントや乾燥（マッチング）
CVD / ALD / ALEにおける反応物の分圧を高精度に計測することは、正確なプロセスの複製をコピーする上で重要です。
プロセスチャンバー内の汚染、ガス不純物、および化学的な性質を高感度に検出します。
半導体FABでの機械学習による効果は、数十億ドルにも上ります。
チャンバー、プロセス、および製品レベルでのより厳密なプロセス制御により、ライン生産高、製品生産高、スループットが向上し、メンテナンススケジュールが最適化されます。
データの品質と豊富さは、コスト削減に大きく貢献します。分子レベルで測定されたin-situリアルタイムデータは、真の洞察を可能とし、MLモデルための実用的なデータです。
Astonは、HARエッチング、低い開口率、ゲートオールアラウンドおよび3Dメモリ構造の選択的処理に関する計測要件を提供します。
低開口率（OA: 0.3%）や高アスペクト比（HAR）における高感度
プラズマやパルスプラズマに対する耐性
視線外の構造物の計測
完璧なコピーを実現します。
装置とプロセスの共同最適化（EPCO）には、分子レベルのフィンガープリント、プロファイリング、マッチングが必要です。同じ装置、同じレシピだけでは実現できません。
厳密に制御された自律的なプロセスやチャンバー管理は、分子精度で転送ソースを正確に一致させるための新しいゴールドスタンダードとなります。
Astonは、EPCOとAI / MLの導入を成功させるための重要な要素です。 Astonが実用的かつリアルタイムなデータを提供することで、実世界とMLモデルの入出力間のデータ相関を利用して、正確なMLモデルの作成とテストを実行します。現場でのリアルタイム分子診断とクラウド上のデータセットによってもたらされるデジタルトランスフォーメーションは、半導体プロセス制御を最適化するために必要な、AI＆MLを可能にする重要なテクノロジーです。
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